硅片研磨廢水處理方法有哪些？

問答庫(kù) 2023年02月15日 13:12 1869 問答庫(kù)

　　硅片研磨廢水處理方法有哪些？

　　制造半導(dǎo)體前，必須將硅轉(zhuǎn)換為晶圓片，晶圓生產(chǎn)包括：晶棒成長(zhǎng)、晶棒裁切與檢測(cè)、外徑研磨、切片、圓邊、表層研磨、蝕刻、去疵、拋光、清洗及檢驗(yàn)包裝工序;研磨過程之后需采用大量的超純水來洗凈晶圓表面所殘留的懸浮微顆?；蚪饘匐x子污染物，因而產(chǎn)生CMP研磨廢液及后段清洗廢水。那么硅片研磨廢水處理方法有哪些？下面就讓三達(dá)膜小編為大家詳細(xì)介紹一下。

　　硅片研磨廢水處理方法有哪些？

　　傳統(tǒng)處理方式有諸多局限，占地大，加藥多，污泥產(chǎn)生量多，水質(zhì)不穩(wěn)定。廢水處理不當(dāng)或直接排放會(huì)污染環(huán)境，處理水不加以回收將會(huì)造成水資源浪費(fèi)。

　　晶圓硅片研磨或切割液廢水回用的處理方法屬于半導(dǎo)體制造和工業(yè)廢水處理技術(shù)。目前，膜分離技術(shù)廣泛運(yùn)用于廢水回用領(lǐng)域?；谀さ姆蛛x性能，一般微濾和超濾作為預(yù)處理使用，反滲透和納濾對(duì)經(jīng)過預(yù)處理后的水進(jìn)行更加深入的處理。

　　膜的聯(lián)用技術(shù)在廢水回用中有出眾的處理效果，可以實(shí)現(xiàn)高效，高回收率，高品質(zhì)出水的“三高”需要。膜分離技術(shù)作為新的分離凈化和濃縮方法，具有無相變、能耗低、效率高、工藝簡(jiǎn)單、操作方便和占地投資小等優(yōu)點(diǎn)，不僅可以使廢水達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，而且可以回收部分原材料、提高水的利用率。

　　以上就是三達(dá)膜小編給大家介紹的具體內(nèi)容了，希望能夠幫助到大家對(duì)上述問題有更深的認(rèn)識(shí)。上述內(nèi)容僅供大家參考，還是要以實(shí)際出現(xiàn)的問題對(duì)癥下藥才能更好的解決問題。如果大家想了解更多案例或技術(shù)方面內(nèi)容，可登陸三達(dá)膜官網(wǎng)，還可以與我們的在線客服進(jìn)行交流或關(guān)注三達(dá)膜公眾號(hào)。

標(biāo)簽：污水處理